槽式堿拋光清洗設備

  技術特點  Features   

· 產(chǎn)能：600 片/ 批， 14400 片/ 小時（210 硅片）；720 片/ 批， 17280 片/ 小時（182 硅片）。

· 兼容背面刻蝕拋光及單晶背面制絨工藝。

· 支持多種添加劑技術。

· 支持最薄120μm 硅片。

· 潔凈區(qū)域干燥，自潔凈系統(tǒng)。

· 快速換液，在線換液。

· 支持MES、RFID 及選配在線稱重功能。