管式等離子體多晶硅淀積爐
管式等離子體多晶硅淀積爐
技術特點 Features
· 隧穿氧化層、i-poly、D-poly 三合一同管完成，減少工藝環節，有效提升良率、降低碎片率。
· 無熱壁特性，石英管使用壽命長。
· 繞鍍輕微，易去除。
· 精準摻雜、可引入其它提效摻雜元素，工藝拓展、提效空間大。
· 防導通專利技術。
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