全自動(dòng)石墨舟裝卸片機(jī)
本設(shè)備為在線式,可與一臺(tái)或兩臺(tái)側(cè)出舟設(shè)備對(duì)接,實(shí)現(xiàn)石墨舟的自動(dòng)傳輸和硅片自動(dòng)裝卸,滿足在太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)過程中的PECVD工藝前后,將片籃中的硅片自動(dòng)裝載到石墨舟,并將石墨舟輸送到PECVD設(shè)備中,或?qū)ECVD設(shè)備中的石墨舟輸送到本設(shè)備,并將石墨舟中的硅片自動(dòng)裝載到片籃中。