全自動石英舟裝卸片機

  技術特點 Features  

· 采用龍門式機構裝卸硅片（或進口六軸機械手裝卸硅片）+ 六軸機械手搬運片籃，雙工作位切換裝卸片，確保設備高效產能和設備可靠性。

· 頂齒、吸盤重要零部件采用特殊材質及加工工藝，最大降低頂齒/ 吸盤對硅片的損傷；特殊結構可實現頂齒、吸盤單片快速更換。

· 控制程序結構模塊化，HMI 通過網絡通訊實現與PLC 高速數據交互，便于設備功能擴展與設備維護；設備具有友好的人機界面和完善的檢測報警系統，保證設備自動運行穩定，操作放心。

· 設備可匹配MES 功能；設備可選配方阻檢測等檢測模組；設備可匹配AGV 智能生產線；我司可根據客戶需求定制個性化功能。