全自動石墨舟裝卸片機

  技術特點 Features  

· 設備模塊化設計，內部相似結構零部件高度統一，便于備件管理。

· 采用觸摸屏+PLC 控制，操作界面簡潔明了。

· 采用小舟流轉裝卸邏輯，產能高: ≥ 8000 片/ 小時(182mm 硅片)。

· 配置機臺內部最高權限暫停功能，充分提升機臺安全冗余。

· 可配置行業主流檢測設備（選配功能），提升制成良率。

· 可搭配AGV，RFID 實現花籃和工藝載具全自動調度追溯，并且可通過鏈接MES 實現花籃和工藝載具車間級管理和調度。