槽式堿拋光清洗設備
槽式堿拋光清洗設備
技術特點 Features
· 產能：600 片/ 批， 14400 片/ 小時（210 硅片）；720 片/ 批， 17280 片/ 小時（182 硅片）。
· 兼容背面刻蝕拋光及單晶背面制絨工藝。
· 支持多種添加劑技術。
· 支持最薄120μm 硅片。
· 潔凈區域干燥，自潔凈系統。
· 快速換液，在線換液。
· 支持MES、RFID 及選配在線稱重功能。
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管式擴散氧化退火爐
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管式等離子體多晶硅淀積爐
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