管式擴散氧化退火爐
管式擴散氧化退火爐
技術特點 Features
· 高方阻技術解決方案。
· 配套相關專利技術，可適用于硼擴散工藝。
· 獨特雙嵌套爐門結構。
· 專利技術尾氣處理系統。
· 高速平穩整體模組推舟機構。
· 智能化全自動控制。
· 自主知識產權MES軟件。
· 全面的防超溫、斷偶、撞舟等安全報警保護功能。
· 匹配S.C智能化生產管理系統。
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