技術特點 Features
· 兼容MES、UPS和RFID功能。
· 機械手分配合理,有效避免藥液交叉污染和槽體反應超時。
· 結構布局緊湊合理,酸性區域、堿性區域、高潔凈區域采用隔斷區分,設備占地空間小。
· 先進的雙層槽結構,有效提高設備工藝產能。
· 工藝槽體采用“定排定補”模式和“時間補液”模式相結合,有效延長藥液使用壽命和減少換液周期。
· 補配液采用槽內與補液罐雙磁致伸縮流量計線性檢測,以及可調節氣閥控流結構,有效保證初配時間和微量精補配液的精度。
· 所有與液體接觸材料優化升級,避免材料使用雜質析出。
· 采用新全塑低溫烘干技術,保證槽內潔凈度和溫度控制精度,提高制絨后少子壽命。