管式擴散氧化退火爐

  技術特點  Features   

· 高方阻技術解決方案。

· 配套相關專利技術，可適用于硼擴散工藝。

· 獨特雙嵌套爐門結構。

· 專利技術尾氣處理系統(tǒng)。

· 高速平穩(wěn)整體模組推舟機構。

· 智能化全自動控制。

· 自主知識產權MES軟件。

· 全面的防超溫、斷偶、撞舟等安全報警保護功能。

· 匹配S.C智能化生產管理系統(tǒng)。