管式等離子體多晶硅淀積爐
管式等離子體多晶硅淀積爐
技術(shù)特點(diǎn) Features
· 隧穿氧化層、i-poly、D-poly 三合一同管完成，減少工藝環(huán)節(jié)，有效提升良率、降低碎片率。
· 無熱壁特性，石英管使用壽命長。
· 繞鍍輕微，易去除。
· 精準(zhǔn)摻雜、可引入其它提效摻雜元素，工藝拓展、提效空間大。
· 防導(dǎo)通專利技術(shù)。
上一個(gè)：
槽式堿拋光清洗設(shè)備
下一個(gè)：
全自動(dòng)石英舟裝卸片機(jī)
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