多功能薄膜沉積設備(SPE)

  技術特點 Features  

· 將真空蒸鍍、反應式等離子鍍膜、磁控濺射三大鍍膜模塊整合成一體，三種鍍膜技術可同時獨立運行，實驗開機率媲美三臺設備，產能高。

· 實現蒸鍍、RPD、PVD 真空連鍍工藝，提供多種組合鍍膜，落實疊層鈣鈦礦層工藝一步到位，有利于膜層界面優化、減少裝卸、傳輸損傷，有利于量產設備的提效降本。

· 采用與量產工藝統一的移動鍍膜模式，提高未來擴產成功率、減少大尺寸量產風險。

· 自主程序設計、人性化操作界面；多層級權限設定，信息保密；嚴謹完善的安全設計，防呆功能周密；綠色環保、節能設計 。