板式等離子體增強化學氣相沉積設備
板式等離子體增強化學氣相沉積設備
技術特點 Features
· 最小反射功率的快速啟輝、均勻穩定大面積成膜。
· 成熟穩定的多點饋入射頻RF 技術、技術兼容性和產品升級。
· 腔體內反應間距可調、靈活的工藝窗口。
· 大產能低成本、定制設備結構。
· 模塊化設計便于安裝和維護、高標準的安全設計思想。
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