多功能薄膜沉積設(shè)備(SPE)

  技術(shù)特點(diǎn) Features  

· 將真空蒸鍍、反應(yīng)式等離子鍍膜、磁控濺射三大鍍膜模塊整合成一體，三種鍍膜技術(shù)可同時(shí)獨(dú)立運(yùn)行，實(shí)驗(yàn)開(kāi)機(jī)率媲美三臺(tái)設(shè)備，產(chǎn)能高。

· 實(shí)現(xiàn)蒸鍍、RPD、PVD 真空連鍍工藝，提供多種組合鍍膜，落實(shí)疊層鈣鈦礦層工藝一步到位，有利于膜層界面優(yōu)化、減少裝卸、傳輸損傷，有利于量產(chǎn)設(shè)備的提效降本。

· 采用與量產(chǎn)工藝統(tǒng)一的移動(dòng)鍍膜模式，提高未來(lái)擴(kuò)產(chǎn)成功率、減少大尺寸量產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)。

· 自主程序設(shè)計(jì)、人性化操作界面；多層級(jí)權(quán)限設(shè)定，信息保密；嚴(yán)謹(jǐn)完善的安全設(shè)計(jì)，防呆功能周密；綠色環(huán)保、節(jié)能設(shè)計(jì) 。