技術特點 Features
· 匹配鈣鈦礦電池低溫制備工藝要求,成膜質量高、均勻、無針孔,對底層無損淀積。
· 薄膜覆蓋率高,電池死區??;薄膜生長環境可控、重復性好、良率高。
· 設備可滿足多種功能材料生長,滿足不同工藝需求,滿足客戶定制化的要求。
· 整線裝備可以全線集成、占地空間小、資本支出低。
· 全線自動化MES 過程監控,可選自動或手動模式,可搭配自動搬運機智能生產。
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