單晶槽式制絨設備
單晶槽式制絨設備
技術特點 Features
· 產能：600片/批，14400片/小時（210 硅片）；720片/批，17280片/小時（182硅片）。
· 工藝槽循環量可調。
· 制絨金字塔均勻，刻蝕深度可調。
· 支持最薄120μm 硅片。
· 潔凈干燥區域，自潔凈干燥系統。
· 低H2O2 消耗。
· 快速換液，在線換液。
· 支持MES、RFID 及選配在線稱重功能。
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