近日,公司子公司常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司完全自主研發(fā)的電子級(jí)硅芯清洗設(shè)備成功下線(xiàn),將于近日部署至某合作客戶(hù)處。
此款硅芯清洗設(shè)備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設(shè)備,用于清洗硅芯表面有機(jī)物、氧化物和金屬離子,采用堿洗、酸洗、超聲、機(jī)能水等工藝,產(chǎn)品可用于高純光伏硅片和半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)制程,清洗后總表金屬≤0.2ppbm。
主要技術(shù)特點(diǎn):
1. 材料升級(jí):與德國(guó)Rochling合力開(kāi)發(fā)耐氧化,耐高溫材料用于槽體制作。
2. 工藝升級(jí):結(jié)合國(guó)外成熟工藝與機(jī)能水清洗工藝,清洗能力更強(qiáng)。
3. 內(nèi)部潔凈升級(jí):內(nèi)部流場(chǎng)的全新設(shè)計(jì),搭配更高效FFU、抽風(fēng)通道及酸堿隔離裝置,內(nèi)部更潔凈。
4. 結(jié)構(gòu)升級(jí):底部龍門(mén)式Robot設(shè)計(jì),運(yùn)載更穩(wěn)定,運(yùn)動(dòng)部件產(chǎn)生的Particle可更快排出設(shè)備外。
5. 硅芯載體優(yōu)化,更穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),更小的接觸面積配合旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),清洗更徹底。
6. 制作升級(jí):槽體及槽內(nèi)零件多采用折彎制作工藝,減少犄角疙瘩及焊接內(nèi)的藏污納垢。
7. 裝配升級(jí):全設(shè)備設(shè)置在千級(jí)潔凈室生產(chǎn)。
長(zhǎng)期以來(lái),電子級(jí)硅芯硅料清洗設(shè)備市場(chǎng)份額都被外國(guó)廠(chǎng)商占有,捷佳偉創(chuàng)作為太陽(yáng)能光伏電池設(shè)備行業(yè)先進(jìn)企業(yè)及半導(dǎo)體設(shè)備制造商,堅(jiān)持以研發(fā)制造先進(jìn)專(zhuān)業(yè)設(shè)備,推動(dòng)國(guó)內(nèi)相關(guān)行業(yè)發(fā)展為己任。憑借雄厚的研發(fā)實(shí)力及近年來(lái)探索泛半導(dǎo)體行業(yè)裝備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn),接連推出多款性能出眾、引領(lǐng)行業(yè)的清洗設(shè)備。此次電子級(jí)硅芯硅料清洗設(shè)備研發(fā)的過(guò)程中,研發(fā)人員攻堅(jiān)克難,突破了諸多關(guān)鍵技術(shù),為設(shè)備的成功研發(fā)奠定了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ),并成為國(guó)內(nèi)率先達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的硅芯硅料清洗設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)廠(chǎng)商。目前公司已實(shí)現(xiàn)表金屬0.5ppbw以上等級(jí)的電子級(jí)硅料批量出貨,2024第一季度將推出0.1ppbw以下的產(chǎn)品。
未來(lái),公司將繼續(xù)秉承“技術(shù)領(lǐng)先,管理領(lǐng)先,服務(wù)領(lǐng)先”的發(fā)展戰(zhàn)略,繼續(xù)精進(jìn)光伏電池生產(chǎn)設(shè)備及半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備研發(fā),并向更廣闊的產(chǎn)品領(lǐng)域和更豐富的技術(shù)路線(xiàn)繼續(xù)發(fā)展,為客戶(hù)提供技術(shù)先進(jìn)、質(zhì)量過(guò)硬、服務(wù)周到的產(chǎn)品。