創(chuàng)微微電子自主研發(fā)生產(chǎn)的首批集成電路全自動濕法設備成功交付客戶

深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司作為太陽能電池設備的先進企業(yè)，為實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結構優(yōu)化，提升公司在相關領域的自主創(chuàng)新能力和研發(fā)水平，順應產(chǎn)品發(fā)展路徑向半導體設備領域延伸，公司的全資子公司常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司于2019年成立了半導體濕法工藝研究室，集合國際團隊重點加強對集成電路濕法設備進行研發(fā)。隨著國家近年來對集成電路的支持力度不斷加強、市場的強勁需求、產(chǎn)品研發(fā)的推進，常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司于2020年9月投資成立了創(chuàng)微微電子（常州）有限公司，專門從事集成電路濕法清洗工藝設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，設備主要包含槽式及單晶圓濕法清洗設備。

截至目前，公司已取得重要客戶在槽式濕法清洗設備上的批量訂單，并于2021年7月21日成功交付3套集成電路全自動槽式濕法清洗設備至客戶進行大批量生產(chǎn)。同時正在設計制造中的設備還包含了用于MicroLED、第三代化合物半導體及集成電路IDM廠的槽式清洗設備及相關附屬設備，涵蓋了集成電路200mm以下近70%濕法工藝步驟，包含有光刻膠去除、氧化膜刻蝕、金屬膜刻蝕、爐管前清洗及有機溶劑清洗等，擁有Cassette 與Cassette less 兩種類型，覆蓋晶圓尺寸從100mm~200mm。

本次首批半導體清洗設備的成功交付，實現(xiàn)了公司在戰(zhàn)略路線上的再次超越，從光伏裝備設計及制造往泛半導體及半導體行業(yè)的拓展，也將成為國家集成電路裝備國產(chǎn)化新的主力軍。