創微微電子自主研發生產的首批集成電路全自動濕法設備成功交付客戶

深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司作為太陽能電池設備的先進企業，為實現產業結構優化，提升公司在相關領域的自主創新能力和研發水平，順應產品發展路徑向半導體設備領域延伸，公司的全資子公司常州捷佳創精密機械有限公司于2019年成立了半導體濕法工藝研究室，集合國際團隊重點加強對集成電路濕法設備進行研發。隨著國家近年來對集成電路的支持力度不斷加強、市場的強勁需求、產品研發的推進，常州捷佳創精密機械有限公司于2020年9月投資成立了創微微電子（常州）有限公司，專門從事集成電路濕法清洗工藝設備的研發、生產和銷售，設備主要包含槽式及單晶圓濕法清洗設備。

截至目前，公司已取得重要客戶在槽式濕法清洗設備上的批量訂單，并于2021年7月21日成功交付3套集成電路全自動槽式濕法清洗設備至客戶進行大批量生產。同時正在設計制造中的設備還包含了用于MicroLED、第三代化合物半導體及集成電路IDM廠的槽式清洗設備及相關附屬設備，涵蓋了集成電路200mm以下近70%濕法工藝步驟，包含有光刻膠去除、氧化膜刻蝕、金屬膜刻蝕、爐管前清洗及有機溶劑清洗等，擁有Cassette 與Cassette less 兩種類型，覆蓋晶圓尺寸從100mm~200mm。

本次首批半導體清洗設備的成功交付，實現了公司在戰略路線上的再次超越，從光伏裝備設計及制造往泛半導體及半導體行業的拓展，也將成為國家集成電路裝備國產化新的主力軍。